微波导入是通过放电的形式将微波能量转移到工艺气体分子上，同时促使气体电离从而产生等离子体的一种过程，其放电的效率直接影响着清洗质量。微波放电的原理分为矩形波导管电场放电法和空腔谐振器耦合法两种，考虑到放电效率，我们选择采用空腔谐振器耦合法来进行微波导入。空腔谐振器耦合放电法的原理是选择在空腔谐振器电磁感应最强的位置加工一个圆形孔洞，把放电管安装在这个圆孔上，这样做是可以使空腔谐振器的电场方向和放电管的方向平行，通过安装在谐振器末端的短路器来调整其长度。同时在放电管的外部安装一段保护管，可以避免微波从圆孔和放电管的缝隙中泄露。为了提高放电管的耐热强度，我们选择了热损耗极小的石英管或者是氧化铝管。

微波等离子清洗机关键技术与解决方案

2、负载与微波源的匹配

与射频等离子清洗的匹配性相比, 微波等离子清洗机的匹配性更加困难, 主要由于微波反馈过程中,如果不能精确的进行负载调节,微波源将很容易造成损伤。所以说精确的匹配性调节是获得优良清洗效果的必要条件。微波源配备合适的匹配系统可以根据清洗腔体及产品等清洗条件的不同进行负载阻抗自动调节，使清洗效果及一致性达到最佳。隔离器是一种降低负载变动防止反射波对磁控管影响的元器件，可以将负载的变动导致的磁控管输出功率和发振频率的变化幅度抑制在一定范围内，减少磁控管收到反射波的影响，延长微波源及磁控管的使用寿命。将“隔离器”接入到微波传输线中，可以使入射波通过后几乎无衰减，而利用模拟负载使反射波在旋转 90°之后被吸收掉。尤其是在负载条件不稳定的情况下，能够有效避免微波源及磁控管遭受反射损伤。

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