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等离子体是物质存在的一种基本形态 （被称 为物质的第四态），是由原子，电子，分子，离子或 自由基组合而成，等离子清洗就是通过物理、化学 作用对被清洗物表面进行处
微波等离子清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式， 可以有效去除表面污染 物，避免静电损伤。 简述了微波等离子清洗的原理及特点，介绍了设备的构成、清洗工艺和
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