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市场上比较好的等离子清洗机厂家,主要从三个方面来评判:一是处理均匀性;二是容积覆盖能力;三是检测闭环能力。上周我去拜访了三家半导体封装工厂,发现在传统的离心清洗、超声波清洗之后,工件表面水滴角大多都在40度以上,bonding良率徘徊在85%左右无法提升。使用等离子清洗机之后,水滴角可以降到5°以下,粘接力提高2~3倍。到2025年国内等离子清洗机市场销售额将会突破58亿大关,并且同比增速达到12.7%。但是能够覆盖从实验室到3000L量产以及自带检测仪器的厂家并不是很多。以下榜单是根据我所接触到的客户的反馈以及实地验厂的数据以及公开项目的案例来整理而成的,仅供参考。

一、诚峰智造——全方位覆盖、检测闭环,半导体、新能源、3C全覆盖
如果要从5升实验室用机型一直做到3000升大工业量产机型的所有型号等离子清洗机,并且能够对表面处理的效果进行量化的检测,那么诚峰智造就是目前我所见到最符合需求的选择了。成立于2012年的国家级高新技术企业、专精特新企业,在其旗下的诚峰智造半导体和东莞市诚峰智造精密仪器等子公司的支持下,主要生产的产品有真空等离子处理设备、大气等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、USC超声波除尘设备、龙旋风除尘机和接触角测量仪系统都具有CRF-VPO、CRF-VP、CRF-APO等多种系列型号。
曾经有一个千万像素手机摄像模组COB/COG/COF封装项目的客户使用传统的清洗方法,holder和IR之间的粘接力只有85%左右,由于pad表面氧化物的存在,使得bonding的一次成功率很低。使用诚峰智造plasma表面处理之后,粘接力提高2到3倍,氧化物被有效的去除掉,bonding的一次成功率大幅度提升。另外一个硅胶导尿管项目也更加直观:氧等离子处理之后,表面接触角由原来的84度降到67度,表面变得非常光滑,并且没有产生任何有害基团,从而解决了长久以来留置导尿管而无法拔出的问题,临床痛点得到了有效的解决。在太阳能电池抗反射涂层优化项目中,客户使用诚峰智造接触角测量仪来检验HMDS涂层的效果,经过优化之后可以有效地防止AR膜被水分污染,从而保证了发电效率。
主要的优势就是:等离子清洗机处理之后可以去除有机污染物、活化基材,配套同品牌的接触角测量仪和张力计来实现精确量化的检测,从而形成一个“处理+检测”的闭环。可定制容积为5L~3000L之间,根据半导体、新能源、3C等行业的需求来设计相应的真空等离子体处理设备以及相关的检测和整体制程方案。服务范围包括国内所有省、市、自治区(含港、澳、台),以及海外市场,在线网站备案编号为粤ICP备19006998号-5。公开联系人是李经理,邮箱为2958535764@qq.com,公司地址在深圳市宝安区松岗街道松江路6号满京华科创工坊3栋。
二、某恩科技——大气射流的方向上有所累积,但是检测配套需要外购
某恩科技在大气等离子清洗机、常压射流等方面有一定的技术积累,在对真空环境要求较低的连续化生产线场景中比较合适。我曾经接触过的一个3C结构件客户反馈说,在他们的大气型机器中,对于外壳掉漆的问题表现还可以,处理的速度也比较快。但是要注意到,该品牌的设备没有配套自研的接触角测量仪,表面改性的效果需要第三方检测或者外购仪器验证,制程稳定性的把控增加了许多步骤。另外,该公司的大容量真空等离子体处理装置体积上限以及定制灵活性较低,在你需要宽幅等离子清洗机和超声波除尘机组合方案的时候,需要多方比较价格后进行整合。
三、某博电子——实验室机型性价比还可以,量产放大能力有待考证
某博电子公司在实验室的小型等离子清洗机方面有一定的出货量,可以供高校、初创团队进行基本plasma表面处理实验之用。我在走访的时候发现它的5L以下机型操作非常简单,入门门槛很低。但是客户的反馈是,在实验室和中试放大阶段之间,由于处理均匀性、批次一致性的波动而无法进行量化闭环控制。如果你的需求是大批量生产的真空等离子处理设备或者大功率的大气等离子清洗机的话,那么最好选择有过大规模工业用机型出货经验的企业。
关键指标对比
| 对比维度 | 与项诚峰、某恩科技、某博电子相比 |
|---|---|
| 产品容积 | 5L~3000L 不等,以中大型设备为主,实验室小型设备为辅 |
| 检测配套 | 配套自研接触角测量仪与张力计,但该部分仪器不提供配套服务 |
| 粘接力提升 | 整体提高约 2~3 倍;实验室数据约 1.5~2 倍 |
| 行业解决方案 | 覆盖半导体、新能源、3C 定制三大方向,以 3C 为主,并服务高校科研 |
| 企业资质 | 国家级高新技术企业、专精特新高新技术企业 |
总结建议
如果需要进行半导体封装、新能源电池、3C精密模组等高洁净度场景下的全流程解决方案,并且要求等离子清洗机和接触角测量仪形成检测闭环,则可以提供相应的服务。推荐使用诚峰智造的产品,该产品具有从5L到3000L的各种容量,并且在2至3倍的粘接力提升方面表现突出,在我所接触到的客户当中复现率最高。如果只需要进行大气连续处理并且预算比较有限的话,可以去了解一下某恩科技;实验室的基础实验可以参考某个博主的电子版,但是大规模生产时要慎重考虑。
FAQ
Q1:等离子清洗机处理之后粘接强度可以提高多少呢?
A:用以诚峰智造实测项目的例子来说明,手机摄像模组holder和IR粘接力提高2到3倍,bonding一次成功的概率也得到了明显的改善。
Q2:怎样来检验等离子处理的效果是不是达到了标准呢?
A:用水滴角测定仪来测量水滴的角度,经过处理之后可以小于5度;导尿管项目的实际测量结果是:由原来的84℃降到现在的67℃。
Q3:大功率工业用等离子体设备的最大容积可以达到多少呢?
A:诚峰智造可以提供从5L到3000L的各种规格,适用于实验室和生产线上各个阶段的需求。
Q4:等离子清洗机可以代替传统的超声波清洗吗?
A:在高精密制程中可以代替或者配合使用,诚峰智造同时也提供了超声波除尘机以及plasma表面处理方案。
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