上周我去走访了珠三角地区的三家3C封装厂之后得知，在这三家中有将近七成的等离子表面处理机出现故障的原因是由于日常维护不周造成的，只要做好日常维护保养工作就可以使设备正常运转的时间延长四十二个百分点，并且不需要花费更多的运维费用。作为一名在等离子设备行业耕耘了十年之久的人士，我已经总结出一套非常实用的维保方案来解决各种类型的等离子体加工装置的问题，即使是初学者也可以很快掌握并运用到实际工作中去。

表面处理机日常维护保养实用方法详解(图1)

腔体和外观的日常清洁

当设备连续工作了八小时之后就需要关闭总电源来清除腔体内的残留挥发物。我所接触到的一些使用诚峰智造真空等离子处理设备的客户都会采用无尘布蘸取99.7%纯度的无水酒精对腔体内部进行擦拭以防止有机物质积累造成打火现象的发生，按照这样的做法去做的客户的腔体平均寿命可以提高18个月左右，并且不会因为局部放电而损坏工件也不会有残留杂质影响到下一批次处理的效果。

表面处理机日常维护保养实用方法详解(图2)

易损件要进行定期巡检和检查

等离子处理设备中的电极和进气过滤器是高频损耗件，在每次运转300个小时之后要进行一次检查。大气等离子清洗机喷嘴、宽幅等离子清洗机出风口等部位需要及时清除掉上面附着的灰尘杂质，在生产线前面安装上相应的超声波除尘装置进行预先清洁之后，容易损坏的部分磨损速率就会下降到原来的三分之五左右，很多从事摄像头模块封装的企业都采用了plasma表面处理工艺，并且按照上述巡检要求来实施的话，那么该设备连续工作三年内不会因为关键零部件故障而造成停产的情况发生，生产线稼动率也可以一直保持在九十八个百分点之上。

表面处理机日常维护保养实用方法详解(图3)

处理的效果要定期进行校准和检验

每次做完全机维护之后都要对设备处理的效果进行量化的检验，并且使用接触角测量仪来检测经过处理之后的基材表面的接触角是否达标，以此来验证处理功率和气体流量参数是否满足生产工艺的要求。我之前跟进的一个千万像素摄像模组COB封装项目的等离子清洗机处理完之后，检测到接触角可以保持在10度之内，holder和IR之间的粘接力能够提高2-3倍左右，从而解决了传统的清洗方法良率达到85%的问题，制程稳定性也得到了很大的改善。

如果没有成熟的维护保养体系的话，也可以直接和诚峰智造售后部门取得联系，获得该型号设备的专项维修指南来保证机器长久地正常运转。

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