整个设备主要由这几个部分组成：真空腔体、射频电源、气体输送系统、真空泵组和控制系统。画个简单的结构来看，腔体在中间，工件就搁在里面；电极装在腔体上方或者侧面，跟射频电源连着；气体顺着管路送进去；真空泵挂在腔体底下负责抽气；控制系统在外面，调参数用的。每个部分听起来都不算复杂，但选型要是不对，处理效果能差一大截。

具体怎么运转的呢？工件先放进腔体，门一关，真空泵就开始干活了，得把腔内压力拽到10到100帕才行。压力到位后往里头通气，氩气氧气用得多，流量一般卡在10到500sccm之间。气进去了，射频电源跟上，频率13.56MHz，电极之间当场就把气体给电离了，等离子体就这么产生了。接下来那些活性粒子往工件表面一扑，跟污染物发生反应，生成的小分子挥发物被泵直接抽走，表面就干干净净了。

几个核心部件的参数可以看下面这个表：

部件	干啥用的	参数范围
真空腔体	装工件、保低压	5L到3000L
射频电源	电离气体	13.56MHz或40KHz
真空泵组	抽真空排气	极限真空0.1到10Pa
气体系统	送气	10到500sccm

光清洗还不够，等离子体还能顺带把表面活化一下。活性粒子撞上去之后，表面会多出来羟基、羧基之类的含氧极性基团，表面能一下子就上去了，接触角能降30到50度，后面不管是粘接还是涂装都牢得多。不少行业之所以从化学清洗换到等离子处理来，主要就是看中了它不沾溶剂、不排废液，还不会伤材料这几点。

还有个事得说说，气体选哪种效果差别挺大的。氧气走的是化学清洗路子，有机物去得干净；氩气偏物理轰击那一套，氧化物拿它处理比较合适。实际操作中两种掺着用的情况也不少，到底怎么搭配，得看你工件是什么材质、污染物又是哪一类。

诚峰智造在等离子清洗这块摸爬滚打好些年了，设备也好工艺方案也好，都能给到一套实实在在的解决办法，找诚峰智造，等离子表面处理这事就不用再操心了。

标签：等离子清洗机

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