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诚峰智造小讲堂 | 微波等离子清洗机在半导体芯片封装工艺中的应用_SINDIN_东莞市诚峰智造精密仪器有限公司

更新时间:2026-04-29 作者: 诚峰智造 浏览量:
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微波等离子清洗机在半导体芯片封装中的应用

在半导体封装工艺中,由于产品的精密性的特殊要求,对等离子清洗设备的性能提出了更高的要求,诚峰智造精密的微波等离子清洗机主要针对半导体封装工艺研发,下面我们来看看微波等离子清洗机在半导体封装中的优势。

ü 设备夹具灵活多变,可适应不规则的产品需求

ü 无电极微波设计,可满足软性产品处理需求

ü 电中性等离子体,对产品无电性破坏

ü 配置磁流体旋转架,增加PLASMA处理均匀度

 

诚峰智造微波等离子清洗机在芯片封装工艺段的应用范围

芯片粘接前的表面清洗:

提升芯片与基板的润湿性、去除氧化膜,从而提升粘接效果,改善产品品质;

共晶焊前表面清洗:

清除基板上的杂质和焊料上的氧化膜,从而减少共晶空洞的产生,提升共晶的可靠性和良品率;

引线键合前处理:

可有效清除键合区光刻胶,引线框架氧化膜、制程中的有机污染物等,从而达到提高键合强度,减少键合分离的目的;

芯片塑封前表面处理:

提高材料表面的润湿性,减少封装空隙,增强其电气性能;

 

总之,在半导体芯片封装工艺中,芯片粘接/共晶→引线焊接→封装→Mark等工艺环节,均推荐使用诚峰智造微波PLASMA清洗机,无损精密器件、不影响上道工艺性能,助力芯片封装质量有效提升。

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