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真空等离子产生原理：
通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
真空等离子清洗机的用途：
①汽车行业：汽车内外饰、汽车电子，去除表面有机污染物，提高表面亲水性，提升粘贴质量；
②半导体行业：金属键合前处理、塑封前处理、底部填充前处理以及光刻胶去除等；
③3c行业：PCB板孔底及孔壁表面处理，FPC表面清洗；
④摄像头模组：DB前处理、WB前处理、封装前处理，增强封装的贴合度。
真空等离子清洗机的优势：
1、超低处理温度：真空腔体经由真空度检漏测试，处理温度低于45℃，可满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响；
2、多路气体控制：高精度气体流量监测系统，针对不同的产品，通入不同反应气体，双路或多路工艺气体全方位均匀清洗；
3、高效率处理：单次可处理多片/批次材料；
4、使用成本低：可定制流水线，全自动工作，减少人力成本，低气体用，稳定性强，降低使用成本；
5、可以处理复杂的产品，可进行360°全方位的处理。
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