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等离子清洗机清洗的效果主要与基础压力、放电功率、工艺气体种类、工艺气体流量、放电时间及工件材料等诸多因素有关，并与清洗工艺息息相关。
等离子清洗机清洗效果好坏与其清洗工艺参数息息相关，清洗工艺参数的设定将直接作用在整个清洗工艺流程中，而其大小、长短等在清洗过程中所体现的作用是不同的，主要的工艺参数及其简单含义说明如下：
（1）基础压力：真空抽到某一值并开始充入工艺气体时的压力值，其大小将影响动态平衡及放电清洗时工作腔内的压力大小。基础压力越大，工作腔内压力越大，容易导致匹配难或能量损失，反之亦然。基础压力设定一般在20pa～60pa之间。
（2）放电功率：功率越大，激发的等离子体能量越大。但是能量过大容易导致材料表面损伤，能量过小则清洗效果不明显。
（3）工艺气体种类：不同的工艺气体种类所激发的等离子的性能是不同的，需要根据被清洗材料选择不同的工艺气体。
（4）工艺气体流量：工艺气体流量越大，激发的等离子浓度越大，但流量变大容易导致激发困难及离子能量变小。
（5）辉光放电时间：放电时间即等离子作用于材料表面时间，时间短清洗效果不理想，时间长则容易损伤材料表面。
综上所述，不同的工艺参数设定直接影响等离子清洗机的清洗效果，应根据清洗材料的材质设定合适的工艺参数。
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