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在等离子体对晶圆表面光刻胶清洗过程中,发挥主导作用的是含氧活性粒子(O3、O2*、O*)与光刻胶的氧化反应，随着反应的持续进行光刻胶最终被完全氧化成CO2和H2...
对PVC发泡板进行大气离子体处理,可以提高PVC的表面润湿性,让PVC发泡板表面从疏水性变为亲水性或具有更好的亲水性，从原本的低表面能状态转变为高表面能状态，使...
大气压等离子体处理不需要抽取真空，在处理材料过程中,放电气体将产生带电粒子(电子和离子)、激发态粒子(自由基,亚稳态分子)和光子。通过这些活性粒子在表面产生的物...
冷等离子体中存在大量活性粒子(如电子、离子、中性粒子、自由基等),因此当等离子体作用于材料的表面时,能够清洁材料表面的氧化物与杂质;可以刻蚀材料表面,使材料表面...
等离子体技术在储能材料中的应用主要集中于缺陷工程、表面改性和元素掺杂3大领域。缺陷工程是通过引入氧空位、硫空位等缺陷,调控材料的电子结构和能带分布,从而提高材料...
等离子体由带电粒子(电子和离子)、激发原子(自由基，亚稳态分子)和光子 的混合物组成，离子、电子、激发原子等物质会对纤维表面进行轰击，导致许多物理和化学反应的发...
在线式等离子清洗工艺应用在IC封装工艺中能够有效去除材料表面的有机残留、微颗粒污染、氧化薄层等,提高工件表面活性,避免键合分层或虚焊等情况，具有自动化程度高、清...
介质阻挡放电（DBD），其特点主要有：能获得大体积、高能量密度且相对均匀的低温等离子体， 设备简单、操作方便，易于连续化操作，适合大规模工业应用等。
低温等离子体处理作为一种对碳基材料有效的改性方法，对其物理化学性能都有着明显的影响，其能耗低、成本低、效率高、不影响基体性能、操作简便和污染小等优点，在碳基材料...
采用等离子体处理种子,可促进种子生长、提高产量、增强种子对逆境的抗性和杀灭谷物表面的致病菌等。目前,等离子体技术主要应用于杀死种子表面致腐微生物、提高种子发芽率...
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