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伴随着微电子技术的迅速发展,对半导体技术的研究变得越来越重要,而在半导体工艺中,低温等离子技术起着重要的作用。在大规模集成电路制造的主要流程中,薄膜沉积、刻蚀、...
射频放电等离子体一般有两种不同的激发方式,分别为电感耦合等离子体和电容耦合等离子体,其可在低气压下产生高密度的等离子体。射频等离子体中的电子能量通常可达几个eV...
等离子体是物质的第四种形态,又被叫做电浆主要分为两大类:热等离子体和非热等离子体，非热等离子体通常由气体放电产生,按照不同放电形式主要分为以下几种:介质阻挡放电...
通过氧气等离子处理后的炭黑表面含氧官能团含量增加，使得炭黑由憎水性材料变为亲水性材料。通过不同工艺气体等离子体对炭黑粒子表面进行调控,可以引入合适基团,以此来满...
等离子体清洗技术是一种完全不用水的气固相干法处理工艺，等离子清洗不仅可以在聚丙烯表面引入各种极性基团和表面刻蚀,还可以提高其表面能,与其它材料的粘接强度也大大增...
亲水性是材料进行涂层、金属化、层压、胶合及印刷所需的基本特性,等离子体改性的基本任务之一就是改善PLA薄膜的亲水性。等离子体改性法不仅操作简单、改性效果好、不会...
低温等离子体刻蚀是利用非聚合性气体,如氧、氩、氮气等产生的等离子体对材料表面进行刻蚀的方法来制备纳米结构。等离子体与材料表面发生反应,并在表面生成功能性官能团,...
等离子体处理法改善聚乙烯（PE）粘接性能,指的是先利用等离子体对PE表面进行改性处理,然后使用胶粘剂对其粘接进而改善其粘接性能的方法。这种方法操作简单、对环境无...
PET分子链上缺乏亲水基团,导致其表面能较低，氧等离子体处理通过氧化反应,在材料表面引入羟基等极性基团,可以增强PET基底与墨水之间的相互作用力,在改善印刷质量...
PET是一种高性能、低表面能的有机材料，经过等离子体改性后的PET具有较高的表面自由能,在与胶粘剂相互粘结时,其浸润性能可以得到提高,界面的粘结强度也可以得到改...
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