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plasma清洗原理就是利用了等离子体（plasma）中的各种物质的特性，与附着在物体的表面物质分子发生物理或化学反应从而起到了活化作用，将依附在物体表面的物质...
等离子体处理一方面会在聚合物基体表面产生刻蚀提高粗糙度，另一方面会在基体表面产生活性官能团,这些官能团会改善聚合物表面的亲水性,有利于后续活化过程中吸附化学镀催...
等离子体氟化改性法利用等离子态下的含氟气体,在某种特殊的作用下,与纳米颗粒结合,在纳米颗粒的表面上沉积,形成能优化各种性能的聚合物。等离子体表面改性技术是一种操...
介质阻挡放电产生的低温等离子体具备很高的化学活性,内部的活性粒子与材料表面接触后发生相互作用,一系列的物理、化学作用会改变材料表面的物理形貌与化学成分,赋予或者...
等离子体由带电粒子(电子和离子)、激发原子(自由基,亚稳态分子)和光子的混合物组成,离子、电子、激发原子等物质会对PP聚丙烯纤维膜表面进行轰击,在其表面产生物理...
伴随着微电子技术的迅速发展,对半导体技术的研究变得越来越重要,而在半导体工艺中,低温等离子技术起着重要的作用。在大规模集成电路制造的主要流程中,薄膜沉积、刻蚀、...
射频放电等离子体一般有两种不同的激发方式,分别为电感耦合等离子体和电容耦合等离子体,其可在低气压下产生高密度的等离子体。射频等离子体中的电子能量通常可达几个eV...
等离子体是物质的第四种形态,又被叫做电浆主要分为两大类:热等离子体和非热等离子体，非热等离子体通常由气体放电产生,按照不同放电形式主要分为以下几种:介质阻挡放电...
等离子清洗机主要用于对电子封装用芯片、基板等元器 件表面污物的清洗及表面特性的改善。目前，等离子清洗设 备主要有批量式与在线式两种。等离子清洗机产生等离子 体的
集成电路制程工艺中键合失效是主要原因之 一，据统计约有 30%的产品失效来源于键合缺陷， 严重影响集成电路的可靠性。微波等离子清洗可 有效去除键合区的污染物，提
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