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在聚二甲基硅氧烷(PDMS)微纳米器件的制造过程中,经常需要在PDMS基片表面进行光刻胶的图形化。通过对PDMS基片表面进行氧等离子体改性处理,提高了PDMS的...
等离子灰化工艺的核心在于通过等离子体氧化反应有效去除光刻胶。等离子体中产生的活性物质,如原子氧或氟自由基,具有极强的反应性,能够与光刻胶发生化学反应,从而实现高...
面向绝缘材料对表面耐电、耐候等综合性能优化提升的切实需求,发展新型的绝缘材料表面改性及性能提升技术具有十分重要的意义。低温等离子体技术因其高反应活性、绿色无污染...
产生大气等离子体射流的装置组成般为气体源、电源和等离子体发生器。电源按照不同的性质特点分为中频 交流电源、直流电源、射频电源等。常见的大气压冷等离子体发生装置可...
与现有技术中对功率模块封装基板的清洗技术对比而言，等离子清洗技术取代了液体化学清洗方法，以避免对基板上的功率器件和电路布线的腐蚀，同样，取代了激光清洗方法，以减...
低温等离子体可以在室温下对材料进行表面改性处理,在材料表面引入自由基或活性官能团，采用O2等离子体处理能有效改善壳聚糖膜表面亲水性,主要原因是等离子体处理在壳聚...
等离子体处理修饰提高聚合物生物相容性主要有两种方式:一是通过等离子体技术提高材料表面亲水性、引入活性基团、增加材料表面粗糙度、改变表面电荷;二是在等离子体修饰基...
低温等离子体处理技术通过电场激发气体分子电离形成等离子体,利用其物理刻蚀和化学接枝对材料表面进行改性。通过在纳米多孔聚乙烯薄膜表面引入功能基团或改变其化学组成,...
等离子体表面处理工艺可使导线绝缘层表面产生沟壑状或锥形的改变,可显著提升有机硅灌封胶与ETFE的界面粘接力。等离子体表面改性工艺对于提升低表面能材料与有机硅灌封...
非热等离子体作为一种快速、环保、高效的方法, 可在温和条件下高效引入空位、孔结构、杂原子掺杂等多种缺陷, 显著提升材料的比表面积、导电性、反应活性和稳定性, 在...
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